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电容器和包括电容器的DRAM装置制造方法及图纸
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下载电容器和包括电容器的DRAM装置的技术资料
文档序号:45412794
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公开了一种电容器和DRAM装置,电容器包括:下电极;介电层结构,位于下电极上,介电层结构包括顺序地堆叠的第一氧化锆层、氧化铪层和第二氧化锆层;以及上电极,位于介电层结构上,其中,氧化铪层具有四方晶相或正交晶相。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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