下载SOI衬底结构、PDSOI器件及其制备方法的技术资料

文档序号:45173661

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本发明实施例提供了一种SOI衬底结构与PDSOI器件,通过在顶层硅的第一表面的第一预设位置处形成第一凸台,以使得该处的顶层硅的厚度大于其他部分的顶层硅的厚度;后续在顶层硅的第二表面形成半导体器件时,半导体器件的栅极位于所述第一凸台的正上方;...
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