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本申请公开了一种探针集成器件和探针集成器件的制备方法及控制方法，器件包括探针阵列、硅电极基板、记录芯片裸片与刚性印刷电路基板。制备方法包括：制备探针阵列与硅电极基板；对记录芯片裸片进行植球后与硅电极基板的一端进行对齐处理，倒装在探针阵列与硅...
该专利属于海南大学所有，仅供学习研究参考，未经过海南大学授权不得商用。

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