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本发明提供一种保护罩集尘组件、半导体制造设备以及保护罩清洁方法，保护罩集尘组件包括：保护罩，用于套设于导电环的外部，形成集尘区域；保护罩的底部设置有与集尘区域相连通的容置腔；集尘盒，可拆卸地设置于容置腔中；集尘盒具有盒体和盒盖，盒盖具有密封...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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