下载一种手自一体探针卡背部顶紧装置的技术资料

文档序号:45097640

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本发明属于晶圆测试技术领域,提供了一种手自一体探针卡背部顶紧装置,包括:凸台;活动杆;顶紧杆;反向传动组件;顶紧组件;微调组件。通过探针台带动被测芯片向上移,若干活动杆与探针台表面接触,使得若干活动杆慢慢朝机壳内移动,再通过反向传动组件使顶...
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