【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆测试，尤其涉及一种手自一体探针卡背部顶紧装置。
技术介绍
1、探针卡是用于晶圆测试的关键工具，它作为被测芯片与测试机之间的桥梁，主要作用是在芯片封装前进行电学性能的初步测量和筛选不良芯片，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，确保只有合格的芯片进入下一步的封装流程。
2、探针卡在晶圆测试的过程中，探针卡一般通过测试头上的中心夹具固定住，通过探针台拖着晶圆向上移，使探针卡上的探针与被测芯片上的凸块接触，从而达到对芯片测试的目的；探针台拖着晶圆向上移动完成与探针接触，在这个过程中探针卡可能会有向上的位移导致探针与晶圆接触时不稳定，因此需要对探针卡背部顶紧；目前，对探针卡的顶紧方式有两种，一种是手动调节顶紧，手动调节时需要手动对中心夹具进行调节，需要抬起测试头将其翻转180度才能调节探针卡被顶出的高度，即探针与被测芯片上的凸块之间的距离，调节完毕再闭合测试头测试才能查看调节效果，这样调节时间较长，并且需要反复调节多次才能达到最佳位置，效率较低；另一种是气动调节顶紧，气动调节时将中心夹具与气缸连接，...
【技术保护点】
1.一种手自一体探针卡背部顶紧装置，包括机壳（1）和安装在机壳（1）顶部的连接杆（10），其特征在于，所述装置还包括：
2.根据权利要求1所述的手自一体探针卡背部顶紧装置，其特征在于，所述反向传动组件（7）包括：
3.根据权利要求1所述的手自一体探针卡背部顶紧装置，其特征在于，所述顶紧杆（6）底部套接有伸缩柱（64），所述伸缩柱（64）与顶紧杆（6）内腔之间连接有弹性件四（66）。
4.根据权利要求3所述的手自一体探针卡背部顶紧装置，其特征在于，所述凸台（2）内侧贯穿安装有若干卡板（3），所述卡板（3）的一端与活动杆（5）相抵，另一...
【技术特征摘要】
1.一种手自一体探针卡背部顶紧装置，包括机壳（1）和安装在机壳（1）顶部的连接杆（10），其特征在于，所述装置还包括：
2.根据权利要求1所述的手自一体探针卡背部顶紧装置，其特征在于，所述反向传动组件（7）包括：
3.根据权利要求1所述的手自一体探针卡背部顶紧装置，其特征在于，所述顶紧杆（6）底部套接有伸缩柱（64），所述伸缩柱（64）与顶紧杆（6）内腔之间连接有弹性件四（66）。
4.根据权利要求3所述的手自一体探针卡背部顶紧装置，其特征在于，所述凸台（2）内侧贯穿安装有若干卡板（3），所述卡板（3）的一端与活动杆（5）相抵，另一端用于固定顶紧杆（6）和伸缩柱（64），凸台（2）内开设有移动槽（24），所述卡板（3）位于移动槽（24）内，所述活动杆（5）表面开设有凹槽（52），当活动杆（5）的底端位于凸台（2）下方时，卡板（3）的一端位于凹槽（52）内，所述凹槽（52）的底部设有斜坡（521），当活动杆（5）上移时，通过斜坡（521）的挤压使卡板（3）朝顶紧杆（6）移动并固定顶紧杆（6）和伸缩柱（64），所述凸台（2）内还开设有伸缩槽一（25）和伸缩槽二（26），所述伸缩槽一（25）和伸缩槽二（26）分别位于移动槽（24）的顶部和底部，且伸缩槽一（25）和伸缩槽二（26）均与移动槽（24）连通，所述伸缩槽一（25）内水平安装有弹性件二（27），所述卡板（3）顶部设有压块（31），所述压块（31）挤压弹性件二（27），所述伸缩槽二（26）内纵向安装有弹性件三（28），卡板（3）底部挤压...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁浩，吴克明，金民中，金东旭，张悦，杨爱民，花磊，朱超，
申请(专利权)人：悦芯科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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