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本发明提出了一种晶圆机械手，包括：基部和限位部，限位部安装于基部上，用于保持晶圆，基部朝向晶圆的面为基面，基面上设置有疏水结构。通过在晶圆机械手的基面上设置疏水结构，从而保持与基面接触的晶圆背面液膜在传输过程中的完整性，以此实现改善甚至消除...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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