温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种ALD前驱体储存装置，包括容器主体及弹性机构，弹性机构设置于容器主体的内部下方，弹性机构包括可伸缩弹性装置和活塞装置；可伸缩弹性装置的一端固定在容器主体的内部底部，另一端连接活塞装置；活塞装置将容器主体内部空间分隔为沿上下方向...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。