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本申请提供一种衬垫，所述工艺腔室设置有排气口，所述排气口与泵体连接，所述衬垫包括：环形主体，所述环形主体包括第一通气区、第二通气区以及第三通气区，所述第一通气区被配置为远离所述排气口，且所述第一通气区设置有第一通气孔；所述第三通气区被配置为...
该专利属于北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司授权不得商用。

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