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本申请提出一种限位结构、晶圆干燥装置及晶圆干燥方法。限位结构包括支架、第一卡齿组、第二卡齿组和第一驱动组件；支架包括主梁及分别连接于主梁两端的第一支撑梁和第二支撑梁；第一卡齿组和第二卡齿组设于主梁的相对两侧；第一驱动组件与第一支撑梁和/或第...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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