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包括晶体管的半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:45058233
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本公开涉及包括晶体管的半导体器件及其制造方法。提供了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件包括:半导体图案;杂质区,设置在半导体图案的一侧并具有与半导体图案的下表面形成平坦表面的下表面;栅极结构,设置于半导体图案之下;以及接触插塞,设置在杂...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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