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一种基于电荷隧穿势垒和原子级锐利界面的超快、稳健多功能浮栅晶体管制备方法技术
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文档序号:45037008
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本发明属于二维材料和电子信息器件领域,具体涉及一种基于电荷隧穿势垒和原子级锐利界面的超快、稳健多功能浮栅晶体管制备方法。本发明的方法所构筑的FGFET具有超大开关比(10<supgt;8</supgt;),超大存储窗口,可以实现...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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