下载基板干燥方法及基板处理装置的技术资料

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向基板的上表面供给包括升华性物质和溶剂的溶液即干燥前处理液。然后,通过使溶剂从基板上的干燥前处理液蒸发,从而在基板上的干燥前处理液中析出升华性物质的固体。然后,使升华性物质的固体的至少一部分溶解于基板上的干燥前处理液。然后,通过使溶剂从溶解...
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