专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社斯库林集团
>
基板干燥方法及基板处理装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载基板干燥方法及基板处理装置的技术资料
文档序号:44977314
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
向基板的上表面供给包括升华性物质和溶剂的溶液即干燥前处理液。然后,通过使溶剂从基板上的干燥前处理液蒸发,从而在基板上的干燥前处理液中析出升华性物质的固体。然后,使升华性物质的固体的至少一部分溶解于基板上的干燥前处理液。然后,通过使溶剂从溶解...
该专利属于株式会社斯库林集团所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。