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本发明涉及半导体测试的技术领域,提供了一种半导体测试方法及装置,包括采集半导体器件的电信号参数、温度数据及光学图像信息并处理,得到标准化电信号序列、连续温度分布曲线以及器件表面形貌特征;将标准化电信号序列与连续温度分布曲线进行分析,生成动态...该专利属于广东芯华镁半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东芯华镁半导体技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体测试的技术领域,提供了一种半导体测试方法及装置,包括采集半导体器件的电信号参数、温度数据及光学图像信息并处理,得到标准化电信号序列、连续温度分布曲线以及器件表面形貌特征;将标准化电信号序列与连续温度分布曲线进行分析,生成动态...