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本发明提供一种等离子体处理装置及等离子体处理装置的使用方法。等离子体处理装置（１０），具有：由金属形成的处理容器（１００）、输出微波的微波源（９００）、面向处理容器（１００）的内壁并向处理容器内透过自微波源（９００）输出的微波的电介质板（３...该专利属于东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学授权不得商用。