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本发明公开了一种研磨垫修整器及化学机械研磨设备，所述研磨垫修整器包括基座、摆动臂、修整头、修整轮和对射传感器，摆动臂的一端与基座连接，摆动臂的另一端能够在水平方向上来回摆动，修整头与摆动臂的另一端连接，修整头能够旋转；修整轮设置于修整头下方...
该专利属于格科半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格科半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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