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实施例包含一种在等离子体处理腔室中处理基板的方法，包含：由RF发生器通过RF匹配器向电极组件传输RF信号，同时RF匹配器被设置为第一匹配点；以及由波形发生器将电压波形传输到电极组件，同时将RF信号传输到电极组件。所述方法包含：由RF匹配器接...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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