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在本发明的基板处理装置中，在腔室的内部空间中，基板保持部配置于较内部空间的中心更朝搬送用开口侧偏移的处理位置。将沿着搬送路径的基板的搬送距离及搬送时间缩短与该偏移量对应的大小，从而省电化。并且，喷嘴移动部构成为使处理液喷出喷嘴沿基板的径向中...
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