温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开一种工艺舟和半导体工艺设备，工艺舟包括顶板、底板和承载部，所述承载部的一端固定连接于所述顶板，所述承载部的另一端固定连接于所述底板；所述承载部的一侧连接有承载台，所述承载台的上表面包括避让面和承载面，所述承载面用以承载晶圆，且所述...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。