温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种干法刻蚀设备用环件，包括上环部和下环部，下环部可拆卸地安装于所述上环部的底部，且所述下环部与所述上环部可导电连接。本技术通过提供一种干法刻蚀设备用环件，其下环部被严重腐蚀后，拆卸更换新的下环部，可有效降低上环部的更换频率，很...
该专利属于上海芯之翼半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯之翼半导体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。