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本发明公开了及一种聚胺类化合物、柔性衬底BAW器件及它们的制备方法，属于半导体材料与电子通讯装置技术领域，本发明合成出3‑(1,3,5‑三嗪基)胺类甲基盐类化合物，并将其进一步催化加氢，得到聚胺类化合物，可用作在硬质衬底上沉积氮化铝时的缓冲...
该专利属于广州市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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