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本发明属于物理气相沉积成形精度技术领域，公开了一种磁控溅射铝锡涂层几何与性能特征预测方法，基于独立变量控制策略系统考察溅射功率、基底偏压、溅射气压和靶基距这些工艺参数对铝锡合金涂层性能的影响，揭示不同工艺参数作用下铝锡涂层形性变化规律；基于...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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