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提供了一种气体传输组件和半导体处理装置。该组件包括加热基座、第一进气模块、第二进气模块、第一阀块组、第二阀块组和出气模块，第一进气模块嵌设在加热基座中，第一进气模块的内部具有多个第一进气通道；第二进气模块设置在第一进气模块的上方，第二进气模...
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