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本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种自调心晶圆夹取机械手，旨在缓解现有机械手无法对晶圆进行定位的技术问题。该自调心晶圆夹取机械手包括安装台和至少三个定位机构；绕过安装台的纵向轴线，至少三个定位机构呈环形阵列分布；定位机构包括定位柱、感应件、...
该专利属于迈为技术（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈为技术（珠海）有限公司授权不得商用。

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