一种自调心晶圆夹取机械手制造技术

本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种自调心晶圆夹取机械手，旨在缓解现有机械手无法对晶圆进行定位的技术问题。该自调心晶圆夹取机械手包括安装台和至少三个定位机构；绕过安装台的纵向轴线，至少三个定位机构呈环形阵列分布；定位机构包括定位柱、感应件、触发件、定位固定件以及第一直线驱动件；定位柱固定于定位固定件；感应件和触发件二者中的一者固定于定位固定件，另一者固定于安装台；定位固定件与安装台滑动配合；第一直线驱动件设置于安装台，并与定位固定件传动连接。该自调心晶圆夹取机械手具有调心功能，能够在晶圆片中心发生偏离时实现对晶圆片位置的微调，以便抓取的准确性，使产品的品质得到保证。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种自调心晶圆夹取机械手。

技术介绍

1、晶圆一般是指制造半导体芯片所用的硅圆片，如今国内的晶圆生产规格主要分为8英寸和12英寸两种。随着半导体设备结构的特征尺寸不断完善、优化，晶圆的搬运设备愈发地先进，使得晶圆在搬运过程中衍生了新的技术特点。

2、晶圆在制造过程中，主要通过机械手进行输送，如今大部分的机械手仅能起到抓取的功能，若出现晶圆片中心与工作台中心不一致情况，机械手的抓取便会产生一定的误差，从而损伤产品，导致产品品质的失效。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种自调心晶圆夹取机械手，以缓解现有机械手无法对晶圆进行定位的技术问题。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供的技术方案在于：

3、本技术提供的自调心晶圆夹取机械手包括：安装台、至少三个定位机构以及与所述定位机构一一对应的夹取机构；

4、绕所述安装台的纵向轴线，至少三个所述定位机构呈环形阵列分布；

5、所述定位机构包括定位柱、感应件、触发件、定位固定件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，包括：安装台、至少三个定位机构以及与所述定位机构一一对应的夹取机构；

2.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述第一直线驱动件包括电机、丝杠和螺母，其中，所述丝杠固定于所述电机的输出端，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，并固定于所述定位固定件。

3.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述安装台上固定有导轨，所述导轨上滑动配合有滑块；

4.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述定位柱采用聚醚醚酮材质。

5.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，...

【技术特征摘要】

1.一种自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，包括：安装台、至少三个定位机构以及与所述定位机构一一对应的夹取机构；

2.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述第一直线驱动件包括电机、丝杠和螺母，其中，所述丝杠固定于所述电机的输出端，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，并固定于所述定位固定件。

3.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述安装台上固定有导轨，所述导轨上滑动配合有滑块；

4.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述定位柱采用聚醚醚酮材质。

5.根据权利要求1所述的自调心晶圆夹取机械手，其特征在于，所述安装台包括顶板、底板和多根支柱；

【专利技术属性】
技术研发人员：马林，徐浩然，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：

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