温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

像差校正系统和包括该校正系统系统的带电粒子显微镜系统。本文提供了像差校正系统和包括该像差校正系统的带电粒子显微镜系统。装置可包括被配置为至少部分地校正该带电粒子束的轴向色差的多个静电多极元件。该装置还包括具有校正器静电棱镜的偏转器组件。该校...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。