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本发明涉及靶材制备技术领域，具体涉及一种硅钼合金管状靶材及其制备方法与应用，通过采用湿法球磨混合硅粉、钼粉的工艺，改善混粉均匀性；通过添加粘结剂改善其成型性能，从而实现大尺寸管状靶材的成型、提高生坯的机械加工性能，最后采用热等静压处理工艺进...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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