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本发明公开了一种晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法，该晶圆传送手臂包括晶圆包覆腔及位置调节组件。晶圆包覆腔包括环形下壁体及环形侧壁，环形侧壁自环形下壁体的外沿沿垂直于环形下壁体的方向向上延伸，以构成环形包覆结构。环形包覆结构包括至少两...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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