下载一种异质异构3D转接板结构及其制备方法的技术资料

文档序号:44771200

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本发明属于微电子封装技术领域,涉及一种异质异构3D转接板结构及其制备方法。在基体正面制备有第一重布线层和第二重布线层,在背面制备有第三重布线层和第四重布线层;在基体正面加工有槽图形,槽图形中依次有第一导电层、第一金属层、第一绝缘层、第二导电...
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