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本发明实施例提供一种用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质，属于半导体技术领域。该方法包括针对待执行任务，基于待传输的物料的装载优先级，生成移动序列集合；以及针对移动序列集合中的任一移动序列，基于移动序列的序列类型和机械手的工作模式，...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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