【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，具体涉及一种用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质。
技术介绍
1、图1是一种现有的立式炉设备的示意图。如图1所示，立式炉设备包括三个晶圆盒开合及晶圆位置扫描装置(loadport,lp)、一个晶圆传送盒取放装置、一个存储柜(stocker)、两个装载腔室(loadlock,ll)、一个晶圆机械手和多个工艺腔室(简称pm)。
2、三个lp分别为lp a、lp b、lp m，两个ll分别为ll c和ll d，多个pm分别是pm 1、pm2、pm 3、pm 4、pm 5......。lp是外部和设备间的桥梁。lp上可放置晶圆传送盒(foup)，晶圆传送盒内有25个槽(slot)，槽用于存放晶圆(wafer)。晶圆传送盒指的是放置晶圆的盒子。晶圆传送盒取放装置，简称为str，与晶圆传送盒机械手类似，按晶圆传送盒机械手进行建模，负责对晶圆传送盒的传送。str可以将晶圆传送盒在lp a/lp b/lp m、ll c/ll d和存储柜的晶圆盒缓存台(shelf)之间进行传送。存储柜用于放置晶圆传送盒，一个存储...
【技术保护点】
1.一种用于传输物料的方法，其特征在于，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工作模式为以下任一者：舟安全模式、灵活模式、常规模式和单部件模式；
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，针对所述移动序列集合中的任一移动序列，基于所述移动序列的序列类型和机械手的工作模式，分解所述移动序列，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，任一所述移动序列的所述序列类型还表明对所述移动序列对应的所述物料进行的取放操作，其中，所述取放操作为以下任一者：取物料、放物料及既取物料且又放物料，在所述工作模式为所述舟安全模...
【技术特征摘要】
1.一种用于传输物料的方法，其特征在于，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工作模式为以下任一者：舟安全模式、灵活模式、常规模式和单部件模式；
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，针对所述移动序列集合中的任一移动序列，基于所述移动序列的序列类型和机械手的工作模式，分解所述移动序列，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，任一所述移动序列的所述序列类型还表明对所述移动序列对应的所述物料进行的取放操作，其中，所述取放操作为以下任一者：取物料、放物料及既取物料且又放物料，在所述工作模式为所述舟安全模式、所述灵活模式和所述常规模式中的任一者的情况下，基于所述工作模式、所述移动序列对应的所述第二物料放置容器中的第二放置位置是否相邻和所述移动序列对应的所述第二物料放置容器是所述源模块还是所述目的模块分解所述移动序列，包括：
5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，针对放置于同一所述第一物料放置容器中的所述物料，所述装载优先...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁妍，张立超，宋新芳，钟结实，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。