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本发明提供基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置。基板搬送装置能够隔开间隙地层叠并收容多张基板，且与在一侧面具有搬入搬出口的载体之间搬送所述基板，所述装置包括以下的要素。搬送部，其具有保持所述基板的保持手，通过使所述保持手从所述载...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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