基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置。基板搬送装置能够隔开间隙地层叠并收容多张基板，且与在一侧面具有搬入搬出口的载体之间搬送所述基板，所述装置包括以下的要素。搬送部，其具有保持所述基板的保持手，通过使所述保持手从所述载体的所述搬入搬出口相对于所述基板间的间隙进退来搬送所述基板；获取部，其在所述载体收容有所述基板的状态下，获取在所述保持手的进退方向上从所述载体的搬入搬出口侧观察所述基板时的、所述基板的形状信息；以及基于所述形状信息控制所述搬送部的控制部，所述获取部通过从所述保持手的进退方向照射波长范围比可视光长的光而得到所述基板的形状信息。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置。基板例如为半导体晶圆、液晶显示器用基板、有机el(electroluminescence：电致发光)用基板、fpd(flat panel display：平板显示器)用基板、光显示器用基板、磁盘用基板、光盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板。

技术介绍

1、以往以来，作为这种装置有如下的装置，该装置具有收容基板的盒、从盒搬出基板且向基板处理装置搬入的基板搬送机构、以及拍摄收容在盒内的基板的摄像单元，拍摄收容在盒内的基板，并基于拍摄到的基板的摄像图像判断基板的形状，再基于判断出的基板的形状，使基板搬送机构向处理单元搬送基板(例如，参照专利文献1)。例如，参照日本2017-69386号公报。

2、然而，在具有这种构成的现有例的情况下，存在如下的问题。

3、即，就现有的装置而言，摄像单元拍摄由盒保持的基板而得到的摄像图像受到来自基板表面的反射光或在基板间的多重反射的影响、或者受到映入到基板背后的盒的颜色、或映入到盒的透明部分的盒背后的设置物的影响，因此，难以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基板搬送装置，其能够隔开间隙地层叠收容多张基板，且与在一侧面具有搬入搬出口的载体之间搬送所述基板，所述基板搬送装置的特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的基板搬送装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的基板搬送装置，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种基板搬送装置，其能够隔开间隙地层叠收容多张基板，且与在一侧面具有搬入搬出口的载体之间搬送所述基板，所述基板搬送装置的特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的基板搬送装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：河原启之，太田乔，佐藤卓也，北村藤和，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：