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本技术提供了一种喷嘴支撑臂位置偏移检测装置及旋涂单元和涂胶设备，旋涂单元包括载片台、收集杯、胶喷嘴、边缘清洗喷嘴以及喷嘴支撑臂；载片台设置在收集杯中，胶喷嘴和边缘清洗喷嘴均设置在载片台的上方，喷嘴支撑臂与边缘清洗喷嘴连接；检测装置包括压力监...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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