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本发明属于半导体抛光技术领域，具体公开了一种临时粘接用固态蜡及其制备方法与用途。所述临时粘接用固态蜡按重量份计包括以下组分：氢化松香40‑60份，硬脂酸20‑40份，C5石油树脂15‑20份，气相二氧化硅0.1‑1份。本发明将氢化松香、硬脂...
该专利属于上海工程技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海工程技术大学授权不得商用。

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