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用于电子构件、特别是集成电路的具有可调温的环行单元的操作装置制造方法及图纸
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下载用于电子构件、特别是集成电路的具有可调温的环行单元的操作装置的技术资料
文档序号:4468992
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本发明涉及一种操作装置,该操作装置用于对电子构件、特别是集成电路进行调温以及向一测试装置供应构件和从该测试装置上取下构件,该操作装置具有能够在一环绕轨道上移动的环行单元,各所述环行单元分别具有至少一个用于保持一构件(43)的保持单元(12)...
该专利属于马尔帝电子系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过马尔帝电子系统有限公司授权不得商用。
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