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本技术涉及光学膜贴附技术领域，公开了一种Pellicle自动分离装置卡爪，包括安装架以及固定在安装架上的推送组件，所述推送组件的活动端固定连接有卡爪架，所述安装架上还安装有超声波发生器组件，所述超声波发生器组件用以对下方膜框与其的间距变化进...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

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