一种Pellicle自动分离装置卡爪制造方法及图纸

本技术涉及光学膜贴附技术领域，公开了一种Pellicle自动分离装置卡爪，包括安装架以及固定在安装架上的推送组件，所述推送组件的活动端固定连接有卡爪架，所述安装架上还安装有超声波发生器组件，所述超声波发生器组件用以对下方膜框与其的间距变化进行监测。本技术，在卡爪架上增加超声波传感器，实时测量分离时膜框的高度变化(形变量变化)，配合PLC程序实时调整卡爪力矩的大小，当形变量较大时，自动减少分离时卡爪的力矩，从而避免一直使用较大的力矩分离导致膜框一直处于变形状态中导致Pellicle膜面褶皱。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学膜贴附，具体为一种pellicle自动分离装置卡爪。

技术介绍

1、为了保护掩模版表面不受灰尘，赃物，颗粒的污染，采用聚酯材料制成的光学膜(pellicle)，将其贴附在掩膜版的表面。行业主流采用的aoi(automatic opticalinspection)即全自动光学检查机在检测完成后利用pa(pellicle amount)的cart从膜盒分离出pellicle，并进入到aoi内部贴膜。

2、现有pellicle膜自动分离设备的卡爪在对pellicle膜分离时，膜框形变容易导致pellicle膜面褶皱，增大原材料的报废率，提高公司生产加工的边际成本，降低利润率。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种pellicle自动分离装置卡爪，解决了pellicle膜自动分离设备的卡爪在对pellicle膜分离时，膜框形变容易导致pellicle膜面褶皱，增大原材料的报废率的问题。

3、(二)技术方案

4、为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种Pellicle自动分离装置卡爪，包括安装架以及固定在安装架上的推送组件，所述推送组件的活动端固定连接有卡爪架，其特征在于：所述安装架上还安装有超声波发生器组件，所述超声波发生器组件用以对布置在其下方膜框的距离变化进行监测。

2.根据权利要求1所述的一种Pellicle自动分离装置卡爪，其特征在于：所述卡爪架的上方布置有反射架板，所述超声波发生器组件配合所述反射架板对位于所述反射架板正下方的膜框进行测距。

3.根据权利要求2所述的一种Pellicle自动分离装置卡爪，其特征在于：所述超声波发生器组件包括超声波发生器与超声波传感器，所述超声波发生器发射的超声...

【技术特征摘要】

1.一种pellicle自动分离装置卡爪，包括安装架以及固定在安装架上的推送组件，所述推送组件的活动端固定连接有卡爪架，其特征在于：所述安装架上还安装有超声波发生器组件，所述超声波发生器组件用以对布置在其下方膜框的距离变化进行监测。

2.根据权利要求1所述的一种pellicle自动分离装置卡爪，其特征在于：所述卡爪架的上方布置有反射架板，所述超声波发生器组件配合所述反射架板对位于所述反射架板正下方的膜框进行测距。

3.根据权利要求2所述的一种pellicle自动分离装置卡爪，其特征在于：所述超声波发生器组件包括超声波发生器与超声波传感器，所述超声波发生器发射...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭伟，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：