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本发明公开了一种用于半导体设备真空系统的简易检漏方法，半导体设备内设置有控制系统，真空系统包括工艺气体管路、真空腔体、抽气管路、真空计、阻抽阀、真空泵、MFC、源瓶、手阀、隔膜阀、ALD阀、N<subgt;2</subgt;管路...
该专利属于江苏鹏举半导体设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鹏举半导体设备技术有限公司授权不得商用。

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