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本发明涉及具有背面照明的分段检测器装置。所述检测器能够收集且区分二次电子与背向散射的电子。所述检测器包含用于主要电子束通过的通孔。命中样本后，所述经反射的二次电子及背向散射的电子经由垂直结构收集，所述结构具有P+/P‑/N+或N+/N‑/P...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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