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在实施例中,半导体器件包括:第一纳米结构;接触第一纳米结构的第一伪区域的第一未掺杂的半导体层;位于第一未掺杂的半导体层上的第一间隔件;位于第一间隔件上的第一源极/漏极区域,第一源极/漏极区域接触第一纳米结构的第一沟道区域;以及环绕第一纳米结...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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在实施例中,半导体器件包括:第一纳米结构;接触第一纳米结构的第一伪区域的第一未掺杂的半导体层;位于第一未掺杂的半导体层上的第一间隔件;位于第一间隔件上的第一源极/漏极区域,第一源极/漏极区域接触第一纳米结构的第一沟道区域;以及环绕第一纳米结...