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半导体芯片架构及其制造方法技术
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文档序号:44582405
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提供一种半导体芯片架构及其制造方法,该半导体芯片架构包括:晶片;在晶片的第一侧上的工艺线前端(FEOL)层,该FEOL层包括在晶片的第一侧上的半导体器件、在晶片中的浅沟槽隔离(STI)结构以及在半导体器件和晶片上的层间电介质(ILD)结构;...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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