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半导体存储器装置制造方法及图纸
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下载半导体存储器装置的技术资料
文档序号:44577004
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本文可以提供半导体存储器装置。半导体存储器装置包括:层叠体,该层叠体包括层间绝缘层和设置在层间绝缘层之间的选择线;芯绝缘层,该芯绝缘层穿透层叠体;半导体图案,该半导体图案沿着芯绝缘层的侧壁延伸并且包括设置在选择线和芯绝缘层之间的未掺杂区域;...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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