下载夹具及抛光设备的技术资料

文档序号:44564103

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本申请提供一种夹具,布置在抛光垫上,所述夹具包括转动结构及本体。转动结构能够在驱动机构的作用下绕轴线转动;本体用于设置待加工件,且所述本体连接于所述转动结构,以随所述转动结构绕所述轴线转动,所述本体能够相对所述转动结构沿与所述轴线平行的方向...
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