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半导体结构及其制备方法、存储系统技术方案
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文档序号:44547140
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本公开提供了一种半导体结构及其制备方法、存储系统,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决如何降低晶体管之间产生的电磁干扰问题。半导体结构包括多个有源柱、栅极结构和隔离结构。多个有源柱沿第一方向和第二方向阵列排布。栅极结构沿第一方向延伸,且位于相邻...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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