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一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，本发明为了解决光刻机工作台动子线圈运动过程中需要线缆供电，影响磁悬浮运动台的运动性能的问题，本发明包括定子结构和动子结构，所述动子结构位于定子结构的上部，所述定子结构包括多个定子单元，多个定...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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