一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机制造技术

一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，本发明专利技术为了解决光刻机工作台动子线圈运动过程中需要线缆供电，影响磁悬浮运动台的运动性能的问题，本发明专利技术包括定子结构和动子结构，所述动子结构位于定子结构的上部，所述定子结构包括多个定子单元，多个定子单元呈2*2矩阵布置，所述每个定子单元的N极组件和S极组件交错设置；所述动子结构包括多个动子单元，多个动子单元呈2*2矩阵布置。本发明专利技术通过带有无线电能传输发射端线圈的海尔贝克阵列定子和带有无线电能传输接收端线圈的动子绕组，可以实现动子绕组低电流波动供电，保证动圈式磁悬浮平面电机无缆化长行程运行，进而提升光刻机用工件台的运动性能。本发明专利技术属于光刻设备技术领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，本专利技术属于光刻设备。

技术介绍

1、工件台是光刻机六大核心部件之一，为芯片良品率提供至关重要的保障。目前，荷兰asml最先进euv光刻机的工件台采用动圈式磁浮平面电机方案。然而，动子线圈运动过程中需要线缆供电，线缆引起的扰动力影响磁悬浮运动台的运动性能，一方面无规律的线缆拢动力增加磁悬浮平面电机动力学模型的准确度，另一方面扰动力增加了运动精度补偿的难度。无线供电技术利用磁耦合谐振原理，通过构建相同频率的发射和接收绕组，实现电能非接触传输，此技术的提出可以彻底摆脱供电线缆的束缚。如果将动圈式磁悬浮平面电机和无线供电技术相结合，则可为光刻机突破纳米制程瓶颈提供可能。

技术实现思路

1、本专利技术为解决光刻机工作台动子线圈运动过程中需要线缆供电，线缆引起的扰动力影响磁悬浮运动台的运动性能的问题，进而提出一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机。

2、本专利技术为解决上述问题采取的技术方案是：

3、本专利技术包括定子结本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，其特征在于：一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机包括定子结构(1)和动子结构(2)，所述动子结构(2)位于定子结构(1)的上部，所述定子结构(1)包括多个定子单元，多个定子单元呈2*2矩阵布置，所述每个定子单元包括若干个N极组件和S极组件，N极组件和S极组件交错设置；所述动子结构(2)包括多个动子单元，多个动子单元呈2*2矩阵布置。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，其特征在于：所述每个N极组件包括N极磁铁(1-1)、第二磁铁(1-2)、第三磁铁(1-3)和无线电能传输发...

【技术特征摘要】

1.一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，其特征在于：一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机包括定子结构(1)和动子结构(2)，所述动子结构(2)位于定子结构(1)的上部，所述定子结构(1)包括多个定子单元，多个定子单元呈2*2矩阵布置，所述每个定子单元包括若干个n极组件和s极组件，n极组件和s极组件交错设置；所述动子结构(2)包括多个动子单元，多个动子单元呈2*2矩阵布置。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，其特征在于：所述每个n极组件包括n极磁铁(1-1)、第二磁铁(1-2)、第三磁铁(1-3)和无线电能传输发射端线圈(1-4)，第二磁铁(1-2)套装在n极磁铁(1-1)上，第二磁铁(1-2)的上方和左侧各设有一个第三磁铁(1-3)，每个第三磁铁(1-3)的上部设有一个无线电能传输发射端线圈(1-4)。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，其特征在于：所述每个s极组件包括s极磁铁(1-5)、第二磁铁(1-2)、第三磁铁(1-3)和无线电能传输发射端线圈(1-4)，第二磁铁(1-2)套装在s极磁铁(1-5)上，第二磁铁(1-2)的上方和左侧各设有一个第三磁铁(1-3)，每个第三磁铁(1-3)的上部设有一个无线电能传输发射端线圈(1-4)。

4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：那拓扑，段永鑫，段钰靖，石庭松，赵勃，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：