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本发明公开了一种柔性基材镀膜设备及方法，属于镀膜设备技术领域，设备包括真空腔体、传动装置和溅射装置，所述传动装置和溅射装置均设置在所述真空腔体中，所述传动装置用于传输基材本体；所述溅射装置包括第一矩形溅射模块、多靶溅射模块和第二矩形溅射模块...
该专利属于合肥致真精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥致真精密设备有限公司授权不得商用。

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