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本技术涉及化学气相沉积生长技术领域，尤其涉及一种冷却生长基台。一种冷却生长基台，包括冷却支撑台，冷却支撑台为3D打印成型的一体式冷却支撑台，一体式冷却支撑台内打印成型有冷却通道，整体提高了冷却支撑台的抗变形能力，且一体式冷却支撑台内打印成型...
该专利属于河南天璇半导体科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南天璇半导体科技有限责任公司授权不得商用。

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