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本发明属于碳化硅材料制造技术领域，公开了一种反应容器的管道接驳方法、装置、程序以及可读存储介质。其中，反应容器的管道接驳方法，包括：响应于反应容器到达指定位置后生成的准备信号，驱动第一管道向前移动以靠近反应容器的第二管道；驱动电机转动以带动...
该专利属于苏州精材半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精材半导体科技有限公司授权不得商用。

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